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第三代半導(dǎo)體的光致發(fā)光光譜測(cè)量

點(diǎn)擊: 次??來(lái)源:未知 時(shí)間:2020-11-03

什么是第三代半導(dǎo)體?
       半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展至今經(jīng)歷了三個(gè)階段:硅材料,砷化鎵材料,再到以氮化鎵、碳化硅為代表的寬禁帶半導(dǎo)體(Wide bandgap semiconductor)。

第一代半導(dǎo)體材料以硅為代表,引發(fā)了集成電路(IC)為核心的微電子領(lǐng)域迅速發(fā)展。第二代半導(dǎo)體材料以砷化鎵為代表,使半導(dǎo)體材料的應(yīng)用進(jìn)入光電子領(lǐng)域,尤其是在紅外激光器和高亮度的紅光二極管等方面。第三代半導(dǎo)體材料的興起,則是以氮化鎵(GaN)材料p 型摻雜的突破為起點(diǎn),以高亮度藍(lán)光發(fā)光二極管(LED)和藍(lán)光激光器(LD)的研制成功為標(biāo)志,包括氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)、金剛石等寬禁帶材料。
幾種典型的寬禁帶半導(dǎo)體材料
第三代半導(dǎo)體有哪些優(yōu)勢(shì)?
       第三代半導(dǎo)體與前兩代半導(dǎo)體最大的區(qū)別是禁帶寬度更寬,可以跨越從0.7-6.2eV,所以我們又稱之為寬禁帶半導(dǎo)體材料。其具有高擊穿電場(chǎng)、高飽和電子速度、高熱導(dǎo)率、高電子密度、高遷移率等特點(diǎn),逐步受到重視。

典型半導(dǎo)體材料特性參數(shù)對(duì)比
       最為典型的三族氮化物目前主要用于發(fā)光,通過(guò)改變材料的組分,其發(fā)射波長(zhǎng)可以覆蓋從紫外到紅外。
 
       三族氮化物中的翹楚——氮化鎵,帶隙3.4eV,在高功率、高速的光電元件中已有應(yīng)用,目前商用藍(lán)光GaN芯片已經(jīng)做到非常成熟,能夠做到80%以上的效率。以及紫光(405nm)激光大量應(yīng)用。
2014年10月7日,赤崎勇、天野浩和中村修二(名字從左到右分別對(duì)應(yīng))因發(fā)明“高效藍(lán)色發(fā)光二極管”而獲得2014年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。

GaN LED芯片的發(fā)光原理及結(jié)構(gòu)示意圖
       2014年10月7日,赤崎勇、天野浩和中村修二(名字從左到右分別對(duì)應(yīng))因發(fā)明“高效藍(lán)色發(fā)光二極管”而獲得2014年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。
 
第三代半導(dǎo)體的光致發(fā)光光譜測(cè)量
       光致發(fā)光光譜定義為當(dāng)一束光子能量足夠高(大于半導(dǎo)體材料的禁帶寬度Eg)的激光入射到半導(dǎo)體材料上,會(huì)將價(jià)帶的電子激發(fā)到導(dǎo)帶,從而在該材料中產(chǎn)生大量的電子空穴對(duì),形成非平衡載流子。這些非平衡載流子隨即通過(guò)各種散射過(guò)程快速弛豫到相應(yīng)能帶的底部,最后發(fā)生復(fù)合產(chǎn)生熒光。采集該復(fù)合發(fā)光的光譜即稱為光致發(fā)光光譜。
 
       PL過(guò)程實(shí)際上是電子從較高能級(jí)向較低能級(jí)躍遷的過(guò)程中釋放出光子,釋放出的光子能量由這些高低能級(jí)的能量差來(lái)決定,其揭示了材料內(nèi)部能級(jí)位置。
PL測(cè)量有以下幾種表征方式及意義:
1)室溫PL測(cè)量主要可以分析材料的帶邊發(fā)光以及缺陷發(fā)光,以及材料表面的均勻性分析。
2)低溫PL主要分析材料的發(fā)光特性如施主、受主發(fā)光,深能級(jí)或淺能級(jí)缺陷發(fā)光。
3)變溫PL可以根據(jù)光譜隨溫度變化趨勢(shì)來(lái)進(jìn)一步指認(rèn)發(fā)光峰的性質(zhì)。
4)變功率PL則根據(jù)改變注入載流子濃度來(lái)分析材料的性質(zhì)。
5)時(shí)間分辨光致發(fā)光(TRPL),包含時(shí)間分辨發(fā)射光譜和熒光壽命衰減曲線兩種,用于了解載流子弛豫過(guò)程,有時(shí)候載流子的空間擴(kuò)散也會(huì)體現(xiàn)在時(shí)間分辨光譜中。
 
已搭建的客戶案例
       80-300K的變溫光譜測(cè)量:樣品S1為InGaN/GaN多量子阱結(jié)構(gòu)的GaN基LED樣品,樣品S2為帶有簡(jiǎn)單p-GaN外延層的對(duì)照樣品
基于325nm激光器激發(fā)的PL測(cè)量系統(tǒng),用于GaN、ZnO等半導(dǎo)體材料等材料的測(cè)量

80-300K的變溫光譜測(cè)量:樣品S1為InGaN/GaN多量子阱結(jié)構(gòu)的GaN基LED樣品
樣品S2為帶有簡(jiǎn)單p-GaN外延層的對(duì)照樣品


配置261nm、266nm、360nm激光器

AlGaN在261nm,266nm激光器下的發(fā)射光譜圖
全新設(shè)計(jì)及一站式解決方案
       以氙燈作為主機(jī)激發(fā)光源實(shí)現(xiàn)發(fā)光材料熒光光譜測(cè)量,現(xiàn)搭配266nm、325nm等紫外激光器耦合,實(shí)現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體的PL測(cè)量,發(fā)光材料的熒光光譜測(cè)量?jī)刹徽`。

       單純激光器激發(fā)的PL測(cè)試系統(tǒng),266nm、325nm等紫外激光器可選

       顯微PL測(cè)量系統(tǒng):解決弱信號(hào)、微區(qū)光譜、PL mapping、拉曼光譜表征的測(cè)量訴求
輕松選配件,放心做實(shí)驗(yàn)
       紫外激光器選件:日本Kimmon廠家的325nm He-Cd激光器,功率35mW,不僅僅是激光器本身,還有優(yōu)質(zhì)的激光線純化濾光片、高通濾光片配套。

       紫外激光器選件:德國(guó)CryLas廠家的266nm固體激光器,同樣搭配優(yōu)質(zhì)激光線純化濾光片,高通濾光片配套。

       變功率PL測(cè)量選件:以色列Ophir廠家PD300-UV激光功率計(jì)及Vega表頭,功率計(jì)行業(yè)標(biāo)桿,參與國(guó)際激光功率標(biāo)準(zhǔn)制定,先鋒科技獨(dú)家代理。

 
       低溫變溫PL測(cè)量選件:英國(guó)Oxford廠家3-300K閉環(huán)制冷機(jī)(配套包含冷頭、壓縮機(jī)、水冷機(jī)、分子泵)
 
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